据报道，中国悄然出台了一项新规，要求芯片制造商在新增产能时，所用设备中的国产比例不得低于50％。目前，这一规定并未纳入任何正式法规条文，不过据知情人士透露，近几个月来，申请政府审批以新建或扩建晶圆厂的企业，均被要求出具证明，证实设备采购支出中至少有50％给予中国本土供应商。未达标的申请，通常会被驳回。

事实上，相关主管人士已经向申请者明确表示，50％只是最低基线，而非最终目标。

因为长远来看，中国的目标是实现晶圆和芯片制造设备的全面国产化。

不过受制于客观条件，这一法规不得不存在一些妥协，监管部门会采取一事一议的灵活处理方式。

比如先进制程工艺晶圆厂会获得一些豁免条款，毕竟国产光刻机等还存在很大差距。

总的来说，这项要求对成熟工艺芯片生产线的执行标准最为严格，而针对先进制程工艺生产线，会给予不同程度的临时性豁免。

数据显示，今年以来，国有背景的中国芯片制造商累计采购了421台（套）国产光刻机及其零部件，总金额约8.5亿元。

ASML 2024财年第四季度财报数据显示，用于成熟工艺芯片生产的干式氟化氩(ArF)光刻机，单台均价约2790万美元，氟化氪(KrF)光刻机单台均价约1446万美元，而用于先进工艺芯片生产的浸没式DUV ArF光刻机单台均价高达8250万美元。

中国国产光刻机目前仍以干式ArF、KrF机型为主。

2024年全年，ASML出货了52台KrF步进扫描光刻机、65台i线步进光刻机、28台干式ArF光刻机、129台浸没式ArF光刻机、44台EUV光刻机。