消息称中芯国际已开始测试首款国产DUV光刻机进军5nm工艺

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中芯国际正在测试由上海初创公司宇量昇生产的深紫外线（DUV）光刻机，正测试的光刻机采用浸没式技术，类似于ASML所采用的技术。过去，中芯国际高度依赖从荷兰半导体设备大厂ASML进口的DUV，但是近年来由于美国的出口管制，只能获得较旧设备。

知情人士透露，中芯国际正在测试一台28纳米的DUV设备，并利用多重曝光来生产7纳米芯片。

据透露，中芯国际试用的这类设备也能被推向极限以生产5纳米处理器，但良率会偏低，无法再进一步制造更先进的产品。

报道称，如果能够量产先进的DUV光刻机，这将是中国大陆突破美国芯片出口管制的重大胜利，不仅能减少对西方技术的依赖，还能提升先进AI处理器的产能。