2月1日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司、盛帷半导体设备（上海）有限公司申请一项名为“炉管设备”的专利。申请公布号为CN121442982A，申请号为CN202411027169.6，申请公布日期为2026年1月30日，申请日期为2024年7月29日，发明人刘满成、刘权、孙旭海，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师杜娟，分类号H10P72/00。
专利摘要显示，本申请公开了一种炉管设备，涉及半导体制造设备领域，炉管设备包括：工艺管，其内部具有工艺区；加热组件，设置于所述工艺管的外周，用于对所述工艺管加热；壳体，所述壳体的内部设置有装载区和第一隔断区，所述第一隔断区处的所述壳体上设置有密封件，所述装载区用于容纳晶舟，所述装载区被配置为能够与所述工艺区和所述第一隔断区分别连通；风机组件，用于使气体在所述装载区和所述第一隔断区内循环，或，将所述装载区内的气体排入至所述第一隔断区内；冷却组件，靠近所述密封件设置，用于对所述密封件进行冷却。通过增加冷却组件，有利于提高密封件的使用寿命，保证装载区内的低氧氛围不被破坏。
天眼查数据显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立日期2005年5月17日，法定代表人HUI WANG，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本48016.4789万人民币，实缴资本37264.99万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目172次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息671条，拥有行政许可31个。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 基片湿法处理装置及基片处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511696240.4 | 2025-11-19 | CN121149062A | 2025-12-16 | 李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱 |
| 2 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511376375.2 | 2025-09-25 | CN120878605A | 2025-10-31 | 苏政、贾社娜、邓新平 |
| 3 | 处理液供给机构及涂覆装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511292109.1 | 2025-09-11 | CN120790418A | 2025-10-17 | 程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植 |
| 4 | 供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权 | CN202511292108.7 | 2025-09-11 | CN120767230B | 2026-01-27 | 苏政、贾社娜、李彬、邓新平 |
| 5 | 排气用防腐组件及炉管设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511100391.9 | 2025-08-07 | CN120591755B | 2025-12-12 | 段航、周冬成 |
| 6 | 单片晶圆干燥设备及干燥方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510873904.3 | 2025-06-27 | CN120403215A | 2025-08-01 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源 |
| 7 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510874680.8 | 2025-06-27 | CN120366747B | 2025-09-23 | 戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊 |
| 8 | 基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202510780743.3 | 2025-06-12 | CN120319704B | 2025-10-17 | 许创威、贾社娜、张大海 |
| 9 | 密封件 | 外观专利 | 授权 | CN202530280752.7 | 2025-05-19 | CN309744402S | 2026-01-23 | 付延奇、贺斌、杨配贤、崔玉民 |
| 10 | 双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510594876.1 | 2025-05-09 | CN120127033B | 2025-08-15 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源 |
| 11 | 晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510526003.7 | 2025-04-25 | CN120072715B | 2025-07-25 | 王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕 |
| 12 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 13 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 14 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 15 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 16 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 17 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 18 | 基板处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510114602.8 | 2025-01-23 | CN120143565A | 2025-06-13 | 徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚 |
| 19 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 20 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 21 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411383228.3 | 2024-09-29 | CN120033106A | 2025-05-23 | 王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨 |
| 22 | 用于方形基板的卡盘 | 发明专利 | 公布 | CN202411358048.X | 2024-09-26 | CN121192044A | 2025-12-23 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华 |
| 23 | 支撑装置及基板退火设备 | 发明专利 | 授权 | CN202411351739.7 | 2024-09-25 | CN119920747B | 2025-11-14 | 顾昱、王玉玺、杨宏超、王晖、王坚 |
| 24 | 管路拆装工装 | 发明专利 | 授权 | CN202411028309.1 | 2024-07-29 | CN119927842B | 2025-12-19 | 杨超繁、贾社娜、张大海 |
| 25 | 炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411027169.6 | 2024-07-29 | CN121442982A | 2026-01-30 | 刘满成、刘权、孙旭海 |
| 26 | 排液装置及基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411028300.0 | 2024-07-29 | CN121432816A | 2026-01-30 | 徐飞、吴均、隋涛、程成、王晖、李康植 |
| 27 | 工艺管及炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411003481.1 | 2024-07-24 | CN121409008A | 2026-01-27 | 王晖、杨超繁、贾社娜、张大海、全钟赫、沈周燮、金睿娜、尹炡友 |
| 28 | 基板热处理装置、热处理方法及涂覆显影设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411002929.8 | 2024-07-24 | CN121419569A | 2026-01-27 | 吴均、徐飞、那洪亮、王晖、李康植 |
| 29 | 凸块电镀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410980780.4 | 2024-07-19 | CN121363025A | 2026-01-20 | 王坚、王晖、贾照伟、陆陈华、代兰奎 |
| 30 | 基板处理装置及基板处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410914104.7 | 2024-07-08 | CN121310877A | 2026-01-09 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华、贾照伟 |
| 31 | 半导体冷却装置及半导体湿法刻蚀系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410861050.2 | 2024-06-28 | CN121230359A | 2025-12-30 | 练长均、高耀栋、宋成亮、刘鼎新、何西登、谢潮东、方毅敏 |
| 32 | 一种组分分离装置、液体回收设备及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410867969.2 | 2024-06-28 | CN121222097A | 2025-12-30 | 魏雄飞、石宁、王文军、张晓燕、邓新平 |
| 33 | 电镀装置及电镀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410865294.8 | 2024-06-28 | CN121228330A | 2025-12-30 | 吴勐、肖炎、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖 |
| 34 | 基板处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410856154.4 | 2024-06-27 | CN121228332A | 2025-12-30 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎、吴勐 |
| 35 | 刷子组件和半导体清洗设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410856136.6 | 2024-06-27 | CN121222715A | 2025-12-30 | 孙建、朱国辉、王晖 |
| 36 | 清洁系统及退火装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410854337.2 | 2024-06-27 | CN121222752A | 2025-12-30 | 刘林波、余齐兴、金一诺、司生辉、宋永灏、王玉玺 |
| 37 | 基板边缘刻蚀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410854349.5 | 2024-06-27 | CN121237674A | 2025-12-30 | 顾争荣、初振明、王东东、张晓燕、贾福金、向阳 |
| 38 | 电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410852582.X | 2024-06-27 | CN121228324A | 2025-12-30 | 花宇、杨宏超、金一诺、王坚、王晖 |
| 39 | 加热装置及基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410852574.5 | 2024-06-27 | CN121237673A | 2025-12-30 | 王晖、贾社娜、苏政、路添竣、陶泽魏、季昆、邓新平 |
| 40 | 基板定位装置及基板定位方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410843707.2 | 2024-06-26 | CN121215586A | 2025-12-26 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚 |
| 41 | 化学气相沉积方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410844357.1 | 2024-06-26 | CN121204634A | 2025-12-26 | 孙旭海、刘满成 |
| 42 | 高温炉管的密封结构及密封方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410825152.9 | 2024-06-24 | CN119845044A | 2025-04-18 | 吕策、张大海、王晖、沈周燮 |
| 43 | 边缘刻蚀位置的控制方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410825019.3 | 2024-06-24 | CN121215519A | 2025-12-26 | 庞博、肖登、初振明、张晓燕、王晖 |
| 44 | 边缘清洗装置及边缘清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410816709.2 | 2024-06-21 | CN120237044A | 2025-07-01 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚 |
| 45 | 用于方形基板的卡盘 | 发明专利 | 公布 | CN202410816350.9 | 2024-06-21 | CN121192043A | 2025-12-23 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华 |
| 46 | 用于电镀设备的检测方法及检测系统 | 发明专利 | 公布 | CN202410782849.2 | 2024-06-17 | CN121155061A | 2025-12-19 | 石轶、左经之、任正博、王晖、金一诺 |
| 47 | 晶圆处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410782703.8 | 2024-06-17 | CN121171920A | 2025-12-19 | 戴明宇、贺斌、费红财、田连刚、朱志君、金京俊 |
| 48 | 立式炉管 | 发明专利 | 公布 | CN202410783591.8 | 2024-06-17 | CN121161259A | 2025-12-19 | 吕策、王晖、贾社娜、张大海 |
| 49 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410783053.9 | 2024-06-17 | CN121161269A | 2025-12-19 | 田连刚、王晖、贺斌、金京俊 |
| 50 | 一种用于基板夹具的密封件以及基板夹具 | 发明专利 | 公布 | CN202410775356.6 | 2024-06-14 | CN121137756A | 2025-12-16 | 陆陈华、杜阳、杨宏超、贾照伟、张静、王坚、王晖 |
天眼查数据显示，盛帷半导体设备（上海）有限公司成立日期2019年3月25日，法定代表人王坚，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本162234.85万人民币，实缴资本70000万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区临港新片区新元南路388号。盛帷半导体设备（上海）有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息55条，拥有行政许可91个。
盛帷半导体设备（上海）有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 基片湿法处理装置及基片处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511696240.4 | 2025-11-19 | CN121149062A | 2025-12-16 | 李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱 |
| 2 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511376375.2 | 2025-09-25 | CN120878605A | 2025-10-31 | 苏政、贾社娜、邓新平 |
| 3 | 供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权 | CN202511292108.7 | 2025-09-11 | CN120767230B | 2026-01-27 | 苏政、贾社娜、李彬、邓新平 |
| 4 | 排气用防腐组件及炉管设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511100391.9 | 2025-08-07 | CN120591755B | 2025-12-12 | 段航、周冬成 |
| 5 | 基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202510780743.3 | 2025-06-12 | CN120319704B | 2025-10-17 | 许创威、贾社娜、张大海 |
| 6 | 晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510526003.7 | 2025-04-25 | CN120072715B | 2025-07-25 | 王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕 |
| 7 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 8 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 9 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 10 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 11 | 管路拆装工装 | 发明专利 | 授权 | CN202411028309.1 | 2024-07-29 | CN119927842B | 2025-12-19 | 杨超繁、贾社娜、张大海 |
| 12 | 炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411027169.6 | 2024-07-29 | CN121442982A | 2026-01-30 | 刘满成、刘权、孙旭海 |
| 13 | 工艺管及炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411003481.1 | 2024-07-24 | CN121409008A | 2026-01-27 | 王晖、杨超繁、贾社娜、张大海、全钟赫、沈周燮、金睿娜、尹炡友 |
| 14 | 化学气相沉积方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410844357.1 | 2024-06-26 | CN121204634A | 2025-12-26 | 孙旭海、刘满成 |
| 15 | 高温炉管的密封结构及密封方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410825152.9 | 2024-06-24 | CN119845044A | 2025-04-18 | 吕策、张大海、王晖、沈周燮 |
| 16 | 立式炉管 | 发明专利 | 公布 | CN202410783591.8 | 2024-06-17 | CN121161259A | 2025-12-19 | 吕策、王晖、贾社娜、张大海 |
| 17 | 进气系统及炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410685462.5 | 2024-05-29 | CN121046813A | 2025-12-02 | 李抒怀、周冬成、石家燕 |
| 18 | 管路固定夹具及炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410503206.X | 2024-04-24 | CN120830773A | 2025-10-24 | 杨超繁、张大海、吕策、刘权 |
| 19 | 原子层沉积方法、炉管设备及其抽真空方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410411861.2 | 2024-04-07 | CN120776275A | 2025-10-14 | 王晖、李益承、周文英、周冬成、刘满成、张大海、刘权 |
| 20 | 槽盖及基板液处理槽 | 发明专利 | 公布 | CN202410363051.4 | 2024-03-27 | CN120714987A | 2025-09-30 | 郭争辉、李亚洲、贾社娜 |
| 21 | 具有清洗功能的炉管及炉管的清洗工艺 | 发明专利 | 公布 | CN202410295385.2 | 2024-03-14 | CN120649155A | 2025-09-16 | 孙旭海、陈宇、周冬成 |
| 22 | 晶舟及炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410294867.6 | 2024-03-14 | CN120656978A | 2025-09-16 | 陈宇、王晖、周冬成、刘满成、杨全柱、孙旭海 |
| 23 | 基片处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410109256.X | 2024-01-25 | CN120366750A | 2025-07-25 | 刘满成、周冬成、岳凡、唐成吉、王亭亭 |
| 24 | 基板检测装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410095313.3 | 2024-01-23 | CN120376446A | 2025-07-25 | 刘宁、焦欣欣、李德鑫、吴均、王俊、王晖 |
| 25 | 高温炉管设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410039451.X | 2024-01-10 | CN120300035A | 2025-07-11 | 吕策、沈周燮、贾社娜、张大海 |
| 26 | 基片处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311869358.3 | 2023-12-29 | CN120237043A | 2025-07-01 | 李亚洲、王俊、方波、陶泽魏、贾社娜、陶晓峰、林金木、杜旭初 |
| 27 | 炉管设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311870167.9 | 2023-12-29 | CN120231015A | 2025-07-01 | 张大海、王晖、王坚、周冬成、贾社娜、刘权、金泳律、全鍾赫 |
| 28 | 基板处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311861507.1 | 2023-12-29 | CN120237067A | 2025-07-01 | 冯凯、胡海波、刘成柱、张祝祥、刘璇、王亭亭 |
| 29 | 半导体设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311813081.2 | 2023-12-26 | CN120224598A | 2025-06-27 | 林金木、李亚洲、朱俊效 |
| 30 | 薄膜沉积装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311631965.6 | 2023-11-30 | CN120060819A | 2025-05-30 | 孙旭海、陈宇、陈国强、王晖 |
| 31 | 温控方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311570555.5 | 2023-11-22 | CN120029374A | 2025-05-23 | 张少帅、俞允成、王俊、王晖 |
| 32 | 基片承载装置及基片处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311560424.9 | 2023-11-21 | CN120033124A | 2025-05-23 | 吴映、李亚洲 |
| 33 | 晶圆传输机械手的清洗装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311105122.2 | 2023-08-29 | CN119527825A | 2025-02-28 | 王晖、向阳、初振明 |
| 34 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311100473.4 | 2023-08-29 | CN119542170A | 2025-02-28 | 邓雪飞、徐融、王俊、张晓燕 |
| 35 | 晶圆清洗装置及清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311085650.6 | 2023-08-25 | CN119517781A | 2025-02-25 | 冯浩、安德磊、徐时座、徐融、张晓燕 |
| 36 | 检测沉积膜层厚度的光学检测装置、炉管设备和控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310928711.4 | 2023-07-26 | CN119381277A | 2025-01-28 | 杨全柱、陈宇、周冬成、王坚、王晖 |
| 37 | 供液装置及基板处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310922015.2 | 2023-07-25 | CN119381286A | 2025-01-28 | 林桢、张晓燕、初振明、张少帅 |
| 38 | 温度传感器 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310807954.2 | 2023-07-03 | CN119245844A | 2025-01-03 | 张少帅、吴均、王俊、王晖、王亭亭、刘丽平 |
| 39 | 晶圆清洗装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310800189.1 | 2023-06-30 | CN119230439A | 2024-12-31 | 徐融、王俊 |
| 40 | 工艺槽测温装置及基板处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310651025.7 | 2023-06-02 | CN119069383A | 2024-12-03 | 焦欣欣、刘宁、华国荣、王俊、张少帅、吴均、王晖 |
| 41 | 基板刻蚀方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202310424800.5 | 2023-04-19 | CN118824893A | 2024-10-22 | 王晖、徐融、王俊、李亚洲、张晓燕 |
| 42 | 用于等离子增强型薄膜沉积的炉管 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310112530.4 | 2023-02-14 | CN118497718A | 2024-08-16 | 王晖、王坚、贾社娜、沈辉、周冬成、张大海、吕策、陈国强、崔致久、全鍾赫、千家䘊、李東根 |
| 43 | 基板处理装置、方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310093305.0 | 2023-02-02 | CN118431105A | 2024-08-02 | 向阳、张晓燕、初振明 |
| 44 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211638609.2 | 2022-12-19 | CN118231278A | 2024-06-21 | 徐融、王鹤、王俊、王晖、邓雪飞、贾社娜、张晓燕 |
| 45 | 化学气相沉积炉管的清洗工艺及具有清洗功能的炉管 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211586915.6 | 2022-12-09 | CN118162419A | 2024-06-11 | 石家燕、周冬成、张晓燕、王晖 |
| 46 | 晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211523206.3 | 2022-11-30 | CN118116825A | 2024-05-31 | 陶泽魏、胡海波、刘阳、张晓燕 |
| 47 | 基板提升机构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202210917461.X | 2022-08-01 | CN117542769A | 2024-02-09 | 李亚洲、陶泽魏、王鹤、王俊、陶晓峰、贾社娜、胡海波、刘阳、张晓燕、王晖 |
| 48 | 用于薄膜沉积的炉管、薄膜沉积方法及加工设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202210081260.0 | 2022-01-24 | CN116516316A | 2023-08-01 | 王晖、张山、周冬成、沈辉、吕策、朴载成、金宗焕、张大海、张晓燕、王俊、贾社娜、王坚 |
| 49 | 高温炉管 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202111476919.4 | 2021-12-02 | CN116222214A | 2023-06-06 | 王晖、张山、沈辉、吕策、周冬成、金宗焕、朴载成、王坚、王俊、贾社娜、张晓燕、金泳律 |
| 50 | 基板清洗设备及其腔室隔离装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202111055519.6 | 2021-09-09 | CN115799104A | 2023-03-14 | 李亚洲、王鹤、王俊、李承熙、王晖 |
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