3月29日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“基板涂覆设备及涂覆方法”的专利。申请公布号为CN121732363A，申请号为CN202411341745.4，申请公布日期为2026年3月27日，申请日期为2024年9月24日，发明人耿其健、刘畅、王杰、仰庶、张晓燕、王尧、吴雷，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师杜娟，分类号B05B16/20、B05B13/02、B05D3/02、B05D1/00、B05B14/00、H10W74/01。
专利摘要显示，本申请公开了一种基板涂覆设备及涂覆方法。基板涂覆设备包括：涂覆腔，涂覆腔内设置有涂覆喷嘴、洗边喷嘴和基板承载装置，基板承载装置用于支撑并带动基板旋转，基板包括封装材料和若干芯片，若干芯片镶嵌于封装材料，涂覆喷嘴用于对基板喷射涂覆液以进行涂覆处理，洗边喷嘴用于对基板喷射洗边药液以进行洗边处理；控制器，与涂覆腔通信连接，控制器被配置为：控制涂覆腔对基板进行涂覆处理和洗边处理，其中，在进行所述涂覆处理和所述洗边处理期间，所述基板始终由所述基板承载装置承载；在所述基板完成涂覆处理和洗边处理后，将所述基板移出所述涂覆腔，进而改善了基板的涂覆效果。
天眼查数据显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立日期2005年5月17日，法定代表人HUI WANG，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本48016.4789万人民币，实缴资本48016.4789万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目175次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息690条，拥有行政许可31个。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 基片湿法处理装置及基片处理设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511696240.4 | 2025-11-19 | CN121149062A | 2025-12-16 | 李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱 |
| 2 | 一种传感器校准装置及基板清洗机 | 发明专利 | 公布 | CN202511565215.2 | 2025-10-30 | CN121540106A | 2026-02-17 | 陈远、赵运翔、何西登 |
| 3 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511376375.2 | 2025-09-25 | CN120878605A | 2025-10-31 | 苏政、贾社娜、邓新平 |
| 4 | 处理液供给机构及涂覆装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511292109.1 | 2025-09-11 | CN120790418A | 2025-10-17 | 程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植 |
| 5 | 供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权 | CN202511292108.7 | 2025-09-11 | CN120767230B | 2026-01-27 | 苏政、贾社娜、李彬、邓新平 |
| 6 | 排气用防腐组件及炉管设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511100391.9 | 2025-08-07 | CN120591755B | 2025-12-12 | 段航、周冬成 |
| 7 | 单片晶圆干燥设备及干燥方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510873904.3 | 2025-06-27 | CN120403215A | 2025-08-01 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源 |
| 8 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510874680.8 | 2025-06-27 | CN120366747B | 2025-09-23 | 戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊 |
| 9 | 基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202510780743.3 | 2025-06-12 | CN120319704B | 2025-10-17 | 许创威、贾社娜、张大海 |
| 10 | 密封件 | 外观专利 | 授权 | CN202530280752.7 | 2025-05-19 | CN309744402S | 2026-01-23 | 付延奇、贺斌、杨配贤、崔玉民 |
| 11 | 双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510594876.1 | 2025-05-09 | CN120127033B | 2025-08-15 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源 |
| 12 | 晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510526003.7 | 2025-04-25 | CN120072715B | 2025-07-25 | 王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕 |
| 13 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 14 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 15 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 16 | 基板处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510114602.8 | 2025-01-23 | CN120143565A | 2025-06-13 | 徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚 |
| 17 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 18 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411383228.3 | 2024-09-29 | CN120033106A | 2025-05-23 | 王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨 |
| 19 | 用于方形基板的卡盘 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411358048.X | 2024-09-26 | CN121192044A | 2025-12-23 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华 |
| 20 | 遮蔽排气环及反应腔结构 | 发明专利 | 公布 | CN202411356693.8 | 2024-09-26 | CN121737675A | 2026-03-27 | 董智超、张山、陈宇、白晛祐、金京俊、周培垄、王晖 |
| 21 | 晶圆检测装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411352377.3 | 2024-09-26 | CN121740133A | 2026-03-27 | 刘宁、焦欣欣、侯瀚、王俊、吴均、王晖 |
| 22 | 喷淋头校准装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411362969.3 | 2024-09-26 | CN121732471A | 2026-03-27 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源、王晖 |
| 23 | 基板对中装置与基板对中方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411362921.2 | 2024-09-26 | CN121752017A | 2026-03-27 | 杨小亚、杨宏超、刁建华、王蔚、贾照伟、王坚、王晖 |
| 24 | 支撑装置及基板退火设备 | 发明专利 | 授权 | CN202411351739.7 | 2024-09-25 | CN119920747B | 2025-11-14 | 顾昱、王玉玺、杨宏超、王晖、王坚 |
| 25 | 基板涂覆设备及涂覆方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411341745.4 | 2024-09-24 | CN121732363A | 2026-03-27 | 耿其健、刘畅、王杰、仰庶、张晓燕、王尧、吴雷 |
| 26 | 基板承载片、晶舟及炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411339305.5 | 2024-09-24 | CN121752006A | 2026-03-27 | 王晖、杨超繁、贾社娜、张大海、全钟赫、沈周燮、金睿娜、尹炡友 |
| 27 | 晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411321721.2 | 2024-09-20 | CN121728996A | 2026-03-24 | 胡韬、张晓燕、胡海波、李兴 |
| 28 | 基板处理方法及基板处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411320298.4 | 2024-09-20 | CN121729006A | 2026-03-24 | 周世豪、刘阳、胡海波、张晓燕 |
| 29 | 电镀设备及电镀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411303916.4 | 2024-09-18 | CN121700484A | 2026-03-20 | 吴勐、陶向宇、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖 |
| 30 | 晶圆边缘清洗装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411305262.9 | 2024-09-18 | CN121729005A | 2026-03-24 | 庞博、肖登、初振明、张晓燕、王晖 |
| 31 | 液体稀释装置及液体稀释方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411290600.6 | 2024-09-13 | CN121648771A | 2026-03-13 | 邱殿涛、徐时座、初振明、张晓燕、王晖 |
| 32 | 电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411289409.X | 2024-09-13 | CN121653800A | 2026-03-13 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎 |
| 33 | 基板处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411290587.4 | 2024-09-13 | CN121693037A | 2026-03-17 | 赵利萍、徐园园、刘文博、王文军、张晓燕 |
| 34 | 基板升降机构及基板处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411282607.3 | 2024-09-12 | CN121693034A | 2026-03-17 | 李亚洲、王俊、贾社娜、王晖 |
| 35 | 加热机构的工艺参数获取装置和方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411282612.4 | 2024-09-12 | CN121693035A | 2026-03-17 | 徐磊、张晓燕、王文军 |
| 36 | 加热机构及基板处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411281509.8 | 2024-09-12 | CN121693032A | 2026-03-17 | 刘鼎新、樊昌昊、何西登、朱星 |
| 37 | 基片干燥方法和装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411281496.4 | 2024-09-12 | CN121693031A | 2026-03-17 | 徐园园、赵利萍 |
| 38 | 基板干燥装置及基板干燥方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411239194.0 | 2024-09-04 | CN121665951A | 2026-03-13 | 陶泽魏、胡海波、刘阳、张晓燕 |
| 39 | 晶圆检测方法和装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411217130.0 | 2024-08-30 | CN121632974A | 2026-03-10 | 陈浩天、任正博、王晖、石轶、金一诺 |
| 40 | 清洗方法及清洗设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411217003.0 | 2024-08-30 | CN121649163A | 2026-03-13 | 贾照伟、陆陈华、麻森朋、杨宏超、王坚、王晖 |
| 41 | 密封性检测装置及其使用方法 | 发明专利 | 公布 | CN202411206282.0 | 2024-08-29 | CN121632482A | 2026-03-10 | 杨宏超、高大恩、商祥志 |
| 42 | 药液循环系统及湿法设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411204289.9 | 2024-08-29 | CN121665944A | 2026-03-13 | 王晖、吴雷、吴均、陈泽辉、巫鳌飞、李春凯 |
| 43 | 基板处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411204300.1 | 2024-08-29 | CN121665945A | 2026-03-13 | 金银花、王文军、张晓燕、曾娟、吴旭东 |
| 44 | 晶舟及炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411206276.5 | 2024-08-29 | CN121665989A | 2026-03-13 | 邱浩、周冬成 |
| 45 | 清洗装置及电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411140793.7 | 2024-08-19 | CN121593146A | 2026-03-03 | 杨宏超、花宇、王坚、王晖 |
| 46 | 芯片堆叠结构处理方法和装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411141948.9 | 2024-08-19 | CN121620283A | 2026-03-06 | 吴勐、贾照伟、王坚、王晖 |
| 47 | 一种处理液供给装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411128720.6 | 2024-08-15 | CN121620116A | 2026-03-06 | 仲召明、赵前、刘鑫、陈中强 |
| 48 | 管路拆装工装 | 发明专利 | 授权 | CN202411028309.1 | 2024-07-29 | CN119927842B | 2025-12-19 | 杨超繁、贾社娜、张大海 |
| 49 | 炉管设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411027169.6 | 2024-07-29 | CN121442982A | 2026-01-30 | 刘满成、刘权、孙旭海 |
| 50 | 排液装置及基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202411028300.0 | 2024-07-29 | CN121432816A | 2026-01-30 | 徐飞、吴均、隋涛、程成、王晖、李康植 |
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