1月24日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司、盛美半导体设备韩国有限公司、清芯科技有限公司申请一项名为“基板清洗装置、清洗方法及涂胶显影设备”的专利，授权公告号CN119909952B，授权公告日为2026年1月23日。申请公布号为CN119909952A，申请号为CN202410502412.9，申请公布日期为2026年1月23日，申请日期为2024年4月24日，发明人王晖、吴均、吴岩、徐飞、袁凯杰、李康植，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师杜娟，分类号B08B1/12、B08B1/20、B08B1/36、B08B1/40、B08B13/00、H10P70/00、G03F7/20、G03F7/16、G03F7/26。
专利摘要显示，本申请公开了一种基板清洗装置、清洗方法及涂胶显影设备，该基板清洗装置包括卡盘主体；若干夹持件，呈圆形排布于卡盘主体表面，用于夹持基板，并带动基板自转；背面清洗机构，用于在基板自转期间，对基板靠近卡盘主体的一面进行清洗；卡盘驱动机构，与卡盘主体连接，用于驱动卡盘主体旋转以甩干完成清洗的基板。实现了提升基板背面清洗效果的技术效果及清洗效率。
天眼查数据显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立日期2005年5月17日，法定代表人HUI WANG，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本47989.2514万人民币，实缴资本37264.99万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目172次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息667条，拥有行政许可31个。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 基片湿法处理装置及基片处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511696240.4 | 2025-11-19 | CN121149062A | 2025-12-16 | 李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱 |
| 2 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511376375.2 | 2025-09-25 | CN120878605A | 2025-10-31 | 苏政、贾社娜、邓新平 |
| 3 | 供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511292108.7 | 2025-09-11 | CN120767230A | 2025-10-10 | 苏政、贾社娜、李彬、邓新平 |
| 4 | 处理液供给机构及涂覆装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511292109.1 | 2025-09-11 | CN120790418A | 2025-10-17 | 程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植 |
| 5 | 排气用防腐组件及炉管设备 | 发明专利 | 授权 | CN202511100391.9 | 2025-08-07 | CN120591755B | 2025-12-12 | 段航、周冬成 |
| 6 | 单片晶圆干燥设备及干燥方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510873904.3 | 2025-06-27 | CN120403215A | 2025-08-01 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源 |
| 7 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510874680.8 | 2025-06-27 | CN120366747B | 2025-09-23 | 戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊 |
| 8 | 基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202510780743.3 | 2025-06-12 | CN120319704B | 2025-10-17 | 许创威、贾社娜、张大海 |
| 9 | 密封件 | 外观专利 | 授权 | CN202530280752.7 | 2025-05-19 | CN309744402S | 2026-01-23 | 付延奇、贺斌、杨配贤、崔玉民 |
| 10 | 双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510594876.1 | 2025-05-09 | CN120127033B | 2025-08-15 | 谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源 |
| 11 | 晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510526003.7 | 2025-04-25 | CN120072715B | 2025-07-25 | 王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕 |
| 12 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 13 | 化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510432151.2 | 2025-04-08 | CN119934438B | 2025-08-08 | 陶泽魏、胡海波、张晓燕 |
| 14 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 15 | 炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510312070.9 | 2025-03-17 | CN119824390B | 2025-07-11 | 杨扬、贾社娜、张大海 |
| 16 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 17 | 进气管及炉管设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510295477.5 | 2025-03-13 | CN119800332B | 2025-07-04 | 蒯蔚、周冬成、蒋攀辉 |
| 18 | 基板处理设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510114602.8 | 2025-01-23 | CN120143565A | 2025-06-13 | 徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚 |
| 19 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 20 | 晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510066274.9 | 2025-01-16 | CN119480619B | 2025-04-25 | 戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕 |
| 21 | 基板处理装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411383228.3 | 2024-09-29 | CN120033106A | 2025-05-23 | 王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨 |
| 22 | 用于方形基板的卡盘 | 发明专利 | 公布 | CN202411358048.X | 2024-09-26 | CN121192044A | 2025-12-23 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华 |
| 23 | 支撑装置及基板退火设备 | 发明专利 | 授权 | CN202411351739.7 | 2024-09-25 | CN119920747B | 2025-11-14 | 顾昱、王玉玺、杨宏超、王晖、王坚 |
| 24 | 管路拆装工装 | 发明专利 | 授权 | CN202411028309.1 | 2024-07-29 | CN119927842B | 2025-12-19 | 杨超繁、贾社娜、张大海 |
| 25 | 凸块电镀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410980780.4 | 2024-07-19 | CN121363025A | 2026-01-20 | 王坚、王晖、贾照伟、陆陈华、代兰奎 |
| 26 | 基板处理装置及基板处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410914104.7 | 2024-07-08 | CN121310877A | 2026-01-09 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华、贾照伟 |
| 27 | 半导体冷却装置及半导体湿法刻蚀系统 | 发明专利 | 公布 | CN202410861050.2 | 2024-06-28 | CN121230359A | 2025-12-30 | 练长均、高耀栋、宋成亮、刘鼎新、何西登、谢潮东、方毅敏 |
| 28 | 一种组分分离装置、液体回收设备及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410867969.2 | 2024-06-28 | CN121222097A | 2025-12-30 | 魏雄飞、石宁、王文军、张晓燕、邓新平 |
| 29 | 电镀装置及电镀方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410865294.8 | 2024-06-28 | CN121228330A | 2025-12-30 | 吴勐、肖炎、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖 |
| 30 | 基板处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410856154.4 | 2024-06-27 | CN121228332A | 2025-12-30 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎、吴勐 |
| 31 | 刷子组件和半导体清洗设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410856136.6 | 2024-06-27 | CN121222715A | 2025-12-30 | 孙建、朱国辉、王晖 |
| 32 | 清洁系统及退火装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410854337.2 | 2024-06-27 | CN121222752A | 2025-12-30 | 刘林波、余齐兴、金一诺、司生辉、宋永灏、王玉玺 |
| 33 | 基板边缘刻蚀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410854349.5 | 2024-06-27 | CN121237674A | 2025-12-30 | 顾争荣、初振明、王东东、张晓燕、贾福金、向阳 |
| 34 | 电镀装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410852582.X | 2024-06-27 | CN121228324A | 2025-12-30 | 花宇、杨宏超、金一诺、王坚、王晖 |
| 35 | 加热装置及基板处理设备 | 发明专利 | 公布 | CN202410852574.5 | 2024-06-27 | CN121237673A | 2025-12-30 | 王晖、贾社娜、苏政、路添竣、陶泽魏、季昆、邓新平 |
| 36 | 基板定位装置及基板定位方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410843707.2 | 2024-06-26 | CN121215586A | 2025-12-26 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚 |
| 37 | 化学气相沉积方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410844357.1 | 2024-06-26 | CN121204634A | 2025-12-26 | 孙旭海、刘满成 |
| 38 | 高温炉管的密封结构及密封方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410825152.9 | 2024-06-24 | CN119845044A | 2025-04-18 | 吕策、张大海、王晖、沈周燮 |
| 39 | 边缘刻蚀位置的控制方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410825019.3 | 2024-06-24 | CN121215519A | 2025-12-26 | 庞博、肖登、初振明、张晓燕、王晖 |
| 40 | 边缘清洗装置及边缘清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410816709.2 | 2024-06-21 | CN120237044A | 2025-07-01 | 王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚 |
| 41 | 用于方形基板的卡盘 | 发明专利 | 公布 | CN202410816350.9 | 2024-06-21 | CN121192043A | 2025-12-23 | 王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华 |
| 42 | 用于电镀设备的检测方法及检测系统 | 发明专利 | 公布 | CN202410782849.2 | 2024-06-17 | CN121155061A | 2025-12-19 | 石轶、左经之、任正博、王晖、金一诺 |
| 43 | 晶圆处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410782703.8 | 2024-06-17 | CN121171920A | 2025-12-19 | 戴明宇、贺斌、费红财、田连刚、朱志君、金京俊 |
| 44 | 立式炉管 | 发明专利 | 公布 | CN202410783591.8 | 2024-06-17 | CN121161259A | 2025-12-19 | 吕策、王晖、贾社娜、张大海 |
| 45 | 薄膜沉积装置及薄膜沉积方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410783053.9 | 2024-06-17 | CN121161269A | 2025-12-19 | 田连刚、王晖、贺斌、金京俊 |
| 46 | 一种用于基板夹具的密封件以及基板夹具 | 发明专利 | 公布 | CN202410775356.6 | 2024-06-14 | CN121137756A | 2025-12-16 | 陆陈华、杜阳、杨宏超、贾照伟、张静、王坚、王晖 |
| 47 | 旋转轴及基板保持装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410759087.4 | 2024-06-12 | CN121123106A | 2025-12-12 | 韩阳、黄天宇、王涛、王涛、邵留宝 |
| 48 | 基板热处理装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410758318.X | 2024-06-12 | CN121123057A | 2025-12-12 | 张剑松、王文军、王晖、李康植 |
| 49 | 射频功率调节装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410758312.2 | 2024-06-12 | CN121124833A | 2025-12-12 | 朱志君、王晖、金京俊 |
| 50 | 一种封装结构的清洗方法及清洗装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410687252.X | 2024-05-29 | CN121054512A | 2025-12-02 | 陆陈华、贾照伟、张静、王坚、王晖 |
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责任编辑：小浪快报